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一体化陶瓷压力传感器简介
发表时间:2010-3-11  文字 〖 〗  阅读次数:4737   [关闭窗口]
1、国内外情况及发展趋势:
现在国内外压力传感/变送器主要使用传统的扩散硅压力敏感器件,甚至还使用稳定性差、温漂大的应变片作为压力敏感器件制造。由于扩散硅压力传感器对介质抗腐蚀能力差,因此必须将扩散硅压力传感器用不锈钢密封并充硅油传递压力,这样不但大大增加成本而且使变送器的迟滞性能变差。而一体化压阻式陶瓷压力传感器可以直接与压力介质接触,因此国内外一致公认一体化压阻式陶瓷压力传感器是扩散硅压力传感器和应变片压力传感器的替代品。目前一体化压阻式陶瓷压力传感器在国外正逐步替代扩散硅压力传感器,而且用量在快速上升。
 
2.一体化陶瓷压力传感器的研发背景:
由于扩散硅压力传感器和应变片作为压力敏感器件的压力传感器无法克服的缺陷,更由于一体化陶瓷压力传感器以其及极高的稳定性和耐腐蚀性及高线性精度、低温漂等性能正在加速替代扩散硅压力传感器和应变片式压力传感器;为了掌握陶瓷压力传感器芯体核心制造技术以徐兴才先生为核心的多位国内专家组成的研发团队经过数年的研究、在充分吸收了国外有关的先进技术与经验的基础上,研究创新了十余项专用技术、方法及设备,终于研制成功了具有世界领先水平的新一代一体化陶瓷压力传感器芯体制造技术(其中两项核心技术已获国家专利,另外多项专有技术、方法及专用设备亦正在申请国家专利),由南京环科电子技术有限公司投资3000余万元人民币实施了批量化生产。

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